plasma等離子清洗機(jī)用于去除晶片表面的微粒，去除光刻膠和其他有機(jī)化合物，活化及粗化晶片表面，提高晶圓表面的浸潤性能等，等離子體清洗機(jī)設(shè)備在晶片表面處理方面的處理效果明顯，目前在晶圓加工中去除晶圓鍵合膠光刻膠
等離子清洗機(jī) / 等離子刻蝕機(jī) / 等離子處理機(jī) / 等離子去膠機(jī) / 等離子表面處理機(jī)
等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，Plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。
低溫等離子體表面清洗機(jī)主要用于先進(jìn)的晶圓包裝應(yīng)用，可明顯減少化學(xué)和耗材的使用，等離子表面清洗機(jī)屬于干式清洗，能去除晶圓表面人眼看不到的表面污染物；
等離子清洗機(jī)對(duì)材料有蝕刻、激活和清潔物體表面的作用。等離子清洗機(jī)可以明顯增強(qiáng)表面的粘度和焊接強(qiáng)度。等離子體清洗機(jī)應(yīng)用于LCD、LED、IC、PCB、SMT、BGA、導(dǎo)線框架和平板顯示器的清潔和蝕刻。等離子體清洗機(jī)可明顯提高焊線強(qiáng)度，減少電路故障的可能性。殘留的感光阻劑、樹脂、溶液殘留物等有機(jī)污染物暴露在等離子體區(qū)域，可在短時(shí)間內(nèi)去除。PCB制造商用等離子體清洗機(jī)進(jìn)行去污和蝕刻，以去除鉆孔中的絕緣物。對(duì)于許多產(chǎn)品，無論是在工業(yè)中使用的。通過等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂
等離子清洗機(jī)不但可以清洗晶圓表面，還可以提高晶圓表面活性，提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，親水性，等離子清洗機(jī)能夠解決表面清洗難題的同時(shí)提供改性活化作用，方便后續(xù)黏晶、封膠、點(diǎn)膠等等工藝 通過激光工藝打穿的小孔，溶劑難以清洗，而等離子體清洗機(jī)可以輕松進(jìn)入而且附著力的提高可以讓粘接更加牢固，減少分層，杜絕氣泡. 晶圓片等離子清洗機(jī)可用于成批剝離，材料包括光致抗蝕劑，氧化物，氨化物蝕刻，電介質(zhì)。硅片去除污染物和氧化物，提高粘接率和可靠性等等。